Xiamen Juda Chemical & Equipment Co., Ltd. je eden vodilnih proizvajalcev in dobaviteljev tekočin za vakuumske črpalke pfpe jhlo 06/6 na Kitajskem. Če iščete tekočine za vakuumske črpalke pfpe jhlo 06/6, lahko kupite naše kakovostne izdelke po konkurenčnih cenah v naši tovarni. Kontaktirajte nas za ponudbo.
Kaj je PFPE JHLO 06/6 perfluoropolieterska tekočina za vakuumsko črpalko? Tel: +86-592-5803997
PFPE JHLO 06/6je visoko{0}}viskozna-perfluoropolieter (PFPE) inertna vakuumska tekočina za črpalko, posebej oblikovana za zamenjavo Solvay Fomblin YL VAC 06/6 za natančno polprevodniško vakuumsko opremo. Kot popolnoma fluorirano sintetično mazivo PFPE, sestavljeno samo iz molekularnih verig ogljika, fluora in kisika, zagotavlja neprimerljivo čistočo, toplotno stabilnost in ničelno kemično reaktivnost - tri merila uspešnosti, o katerih ni mogoče pogajati, za nadzor izkoristka pri izdelavi polprevodniških rezin.
Za razliko od vakuumskih olj na osnovi ogljikovodikov ali ester-, ki ustvarjajo hlapne ostanke in onesnaženje z delci, je naš JHLO 06/6 PFPE podvržen strogim preskusom sinteze v čistih prostorih razreda 1 ISO in več{4}}ciklično testiranje izpuščanja plinov. Ta perfluoropolietrska tekočina omejuje TML in CVCM na ultra-nizke pragove, s čimer preprečuje povratno kontaminacijo pri jedkanju, LPCVD, PVD in vakuumskih črpalkah za ionsko implantacijo - neposredno zmanjšuje stopnje napak na rezinah in stabilizira proizvodni pretok za 200 mm/300 mm tovarne.
Specifikacija perfluoropolietrskega olja serije JHL PFPE Tel: +86-592-5803997
Pridobite brezplačen tehnični list
Jedro polprevodnikov-Prednosti PFPE JHLO 06/6 perfluoropolietra Tel: +86-592-5803997
1. Ultra-nizko sproščanje plinov in ničelna kontaminacija z delci (zaščitite izkoristek rezin)
Glavna bolečina polprevodniških vakuumskih sistemov je hlapno mazivo, ki onesnažuje silicijeve rezine. Naš perfluoropolieter PFPE JHLO 06/6 ima izjemno nizek nasičen parni tlak pod visokim vakuumom:
Minimalna izguba zaradi izhlapevanja pri neprekinjenem visokem{0}}vakuumskem delovanju
Ni -razgradljivo v ciklih plazme, pečenja pri visoki- temperaturi in kriogenega hlajenja
Brez odvajanja mikro{0}}delcev; izogiba se okvari fotorezista, tveganju kratkega tokokroga in površinske napake Stranke Fab poročajo o 15–22 % zmanjšanju stopnje odpadnih rezin po prehodu na tekočine vakuumske črpalke JHLO 06/6 PFPE, zahvaljujoč dosledni ultra-čisti perfluoropolieterski zmogljivosti, ki se ujema z vrhunskimi-uvoženimi blagovnimi znamkami PFPE.
2. Popolna kemična inertnost proti kemikalijam polprevodniškega procesa
Edinstveno fluoroogljikovo ogrodje perfluoropolietra (PFPE) zagotavlja JHLO 06/6 popolno odpornost na vse agresivne procesne medije: fluoriran plin za jedkanje, halogene, močne oksidante, ozon in kisle hlape.
Brez kemičnih reakcij, karbonizacije ali kopičenja blata v komorah črpalke
Ne-vnetljivo, plamenišče nič; varno za postopke-vakuumskega črpanja, bogate s kisikom
Popolnoma združljivo s FFKM, PTFE, nerjavnim jeklom in vsemi polprevodniškimi tesnilnimi materiali za črpalke Brez nabiranja blata podaljša cikle remonta vakuumske črpalke za 2–3x v primerjavi z običajnimi olji, s čimer skrajša čas izpadov vzdrževanja opreme in stroške rezervnih delov.
3. Izredno široka temperaturna stabilnost delovanja
Polprevodniška vakuumska oprema izmenično uporablja kriogeno hlajenje (-60 stopinj) in visokotemperaturno pečenje (260 stopinj). PFPE JHLO 06/6 perfluoropolieter ohranja stabilno mazljivost v celotnem obsegu:
Točka strditve pod -58 stopinjami: gladek zagon črpalke v vakuumskih okoljih z ultra nizko temperaturo
Temperatura termične razgradnje nad 300 stopinj: brez padca viskoznosti ali valov hlapov med visoko-toplotnimi postopki
Stabilna viskoznost-temperaturna krivulja, dosledna učinkovitost vakuumskega črpanja-celo leto
4. Enako delovanje kot Solvay PFPE Fomblin YL VAC 06/6, stroškovno-učinkovita dobava
Tekočina za vakuumsko črpalko JHLO 06/6 PFPE odraža vse fizikalne in kemijske parametre perfluoropolietra Solvay Fomblin YL VAC 06/6: kazalniki ustrezne molekulske mase, parnega tlaka, mazljivosti in izločanja plinov.
Neposredna zamenjava-za vse rotacijske, suhe in turbomolekularne vakuumske črpalke, ki se uporabljajo v tovarnah polprevodnikov
Domača množična proizvodnja čistih prostorov odpravlja dolge uvozne dobavne roke in spremenljive čezmorske stroške surovin
Na voljo v 5L, 20L in razsutem IBC pakiranju za velike{2}}proizvodne linije polprevodnikov
Ključne aplikacije za proizvodnjo polprevodnikov za PFPE JHLO 06/6 perfluoropolieter Tel: +86-592-5803997
Ta prvovrstna tekočina za vakuumsko črpalko PFPE je standardno mazivo za visoko{0}}čiste vakuumske delovne tokove pri izdelavi sprednjih-rezin:
1. Vakuumske črpalke za plazemsko jedkanje in reaktivno ionsko jedkanje (RIE)
2.Vakuumski sistemi za nanašanje tankih{1}}plastov LPCVD, PVD, ALD
3. Ionska implantacija, visoko{1}}vakuumske črpalne enote difuzijske peči
4. Razplinjevanje rezin, vakuumska oprema za kriogene preskusne komore
5. Vakuumske obtočne črpalke za transport jedkih kemičnih hlapov
6. Natančno vakuumsko testiranje v letalstvu in inertna vakuumska obdelava v farmacevtski industriji
Vsi scenariji, kjer so nizka kontaminacija, dolga življenjska doba in inertna perfluoropolieter PFPE kemija obvezni za zaščito donosa končnega izdelka.
Zakaj Global Semiconductor Fabs izbere našo serijo JHLO PFPE perfluoropolieter Tel: +86-592-5803997
Z 10-letnim delovanjem fluorokemične neodvisne postaje, ki služi proizvajalcem originalne opreme polprevodnikov in proizvajalcem rezin, proizvodnja PFPE v naši tovarni strogo sledi standardom REACH, RoHS in standardom čistosti polprevodnikov:
1
Popolna-hišna sinteza osnovne surovine perfluoropolietra, brez mešanja tretjih{1}}stran
2
3-stopenjska filtracija delcev pred polnjenjem za odstranitev tujih onesnaževalcev
3
Za posamezno serijo so na voljo popolni MSDS, potrdilo o originalnosti, poročila o preskusih čistih prostorov
4
PFPE vakuumske tekočine z viskoznostjo po meri (JHLO-04, 14/6, 25/6, 45), ki so na voljo za različne modele črpalk
Oddajte povpraševanje za množično ponudbo
Pogosta vprašanja – PFPE JHLO 06/6 perfluoropolieterska tekočina za vakuumsko črpalko
01. Ali lahko PFPE JHLO 06/6 popolnoma nadomesti Solvay Fomblin YL VAC 06/6?
02. Kakšna tveganja kontaminacije odpravlja perfluoropolieter PFPE v primerjavi z mineralnim vakuumskim oljem?
03. Katere velikosti pakiranja so na voljo za PFPE JHLO 06/6?
Priljubljena oznake: tekočine za vakuumske črpalke pfpe jhlo 06/6, dobavitelji, proizvajalci, tovarna, ponudba, cena, nakup
