Od 7 nm rezin do napredne embalaže vsako novo vozlišče potisne velikosti funkcij proti fizičnim mejam in spremeni "čiščenje"-nekoč korak v ozadju-v nanometrsko- ali celo angstromsko-misijo. Tradicionalni fluoroogljikovodiki (CFC-113, PFC) so ne-vnetljivi in nizko strupeni, vendar so njihovi profili-tanjšanja ozonskega plašča ali visokega GWP sprožili globalne prepovedi. Vodne kemikalije medtem pogosto puščajo vodne sledi, razjedajo kovine in porabijo velike količine energije za sušenje.Hidrofluoroeter (HFE), ki združuje nič ODP, nizek GWP, ne-vnetljivost in nič ostankov, je hitro postal novi favorit inženirjev in zdaj velja za najboljšo zeleno zamenjavo za visoko{1}}natančno čiščenje.
1. Zakaj lahko HFE fluorovo topilo očisti polprevodnike
Molekularni inženiring zagotavlja uravnoteženo delovanje
Eterni kisik je zaklenjen v ogljikov skelet, preostale valence pa so omejene z vodikom, kar ohranja kemično inertnost in nizko polarnost fluoroogljikovodikov, hkrati pa zmanjšuje vpliv tople grede in toksičnost. Kot primer vzamemo običajni razred HFE-347 (C₃H₃F₇O):
Vrelišče 56,2 stopinje; visok parni tlak pri sobni temperaturi za hitro sušenje brez-znak-vode
Površinska napetost samo 16,4 mN m⁻¹, prodira skozi 10 nm rove in "dviguje" delce in fragmente fotorezista
Dielektrična trdnost 40 kV, kar omogoča-čiščenje orodja v živo brez gate-razgradnje oksida
Brez plamenišča, ničelne meje eksplozije, takojšnja nižja stopnja požarne-nevarnosti
Odlična združljivost materialov
Brez korozije na spajkah Cu, Al, Ti, Ta, Ni, SnAg, dielektrikih z nizko-k, PI, LCP, FR-4; visoka selektivnost za PR, BARC, SiO₂, Si₃N4-strukture naprave ostanejo nedotaknjene.
Upravno in okolju-prijazno
ODP=0, GWP ≈ 540, življenjska doba v atmosferi < 1 leto, izpolnjevanje EU VOC, RoHS, REACH in kitajskega nadomestnega načrta ODS-. Izrabljeno tekočino je mogoče destilirati in reciklirati > 10-krat, kar zmanjša skupne stroške lastništva (TCO) za 15–25 %.
Odlična čistilna učinkovitost za posebne onesnaževalce
Čeprav niso univerzalna topila za vse organske snovi, so HFE zelo učinkovita za svoje ciljne aplikacije:
Odlično za odstranjevanje perfluoriranih maziv in masti: So izbrano topilo za odstranjevanje maziv vrste perfluoropolietra (PFPE) in Krytox™-, ki se uporabljajo v vakuumskih tesnilih, ventilih in robotiki v orodjih za izdelavo polprevodnikov.
Učinkovito pri ostankih talil in ionskih kontaminantov: če so formulirani s stabilizatorji ali so-topili, lahko odstranijo talila pri spajkanju in kontaminacijo z delci brez vode.
Natančno sušenje brez ostankov
HFE imajo edinstveno kombinacijo lastnosti, ki omogočajo popolno "sušenje po kapljicah":
Nizka površinska napetost in visoka omočljivost: prodrejo skozi zapletene geometrije in pod nizko{0}}stoječe komponente.
Visoka hlapnost: popolnoma in hitro izhlapijo, ne da bi zapustili vodne lise ali ionske ostanke, kar je ključnega pomena za-proizvodnjo z visokim izkoristkom.
Učinkovitost in vsestranskost postopka
HFE omogočajo prilagodljive in učinkovite metode čiščenja:
Združljivost s parnim razmaščevanjem: Zaradi svoje hlapnosti in stabilnosti so idealni za sodobne, zaprte parne razmaščevalce, ki so-učinkoviti s topili in zagotavljajo vrhunsko čiščenje kompleksnih delov.
Čiščenje s ko-topilom: azeotropne ali ne{1}}azeotropne mešanice z alkoholi (kot je IPA) ali ogljikovodiki lahko najprej raztopijo polarne/organske onesnaževalce, ki jih čisti HFE nato spere, tako da ostane popolnoma suha površina-brez ostankov.
Združljivost z avtomatizacijo: Njihove lastnosti omogočajo integracijo v avtomatizirane čistilne sisteme.
Prednosti varnosti delavcev
Nizka toksičnost: Imajo nizko akutno in kronično toksičnost z visokimi mejami izpostavljenosti (običajno visoke mejne vrednosti praga - TLV).
Prijeten vonj: za razliko od mnogih agresivnih topil imajo na splošno blag-vonj, kar izboljša sprejemljivost na delovnem mestu.
Ne-vnetljivost: Odpravlja nevarnosti požara in eksplozije, povezane s topili, kot sta IPA ali aceton, pri čiščenju v razsutem stanju.
2. Tri osnovne aplikacije v polprevodniških tovarnah
A. Natančno čiščenje-na ravni rezin
Po litografiji, jedkanju ali implantaciji ostanejo organski ostanki in kovinski ioni < 10 nm. Nizka viskoznost HFE in visoka penetracija zmanjšata -število delcev v jarku z > 500 ea cm⁻² na < 10 ea cm⁻² v 30 s; skupaj z ultrazvokom 40 kHz ali curkom odstranitev kovin-ionov (Cu²⁺, Fe³⁺) > 99,9 %, kar daje površino v "atomskem- obsegu" za poznejše ALD ali CVD.
B. Odstranjevanje fotorezista in po-odstranjevanje ostankov pepela
Običajni SPM (H₂SO₄/H₂O₂) ali odstranjevalci aminov razjedajo Cu/Low-k; odstranjevalec na osnovi razredčenega HFE- popolnoma raztopi KrF, ArF in EUV reziste pri 60 stopinjah v 5 minutah z ničelnimi izgubami na trdih maskah TiN ali linijah Cu, ki so že kvalificirane za vozlišča pod 14 nm.
C. Napredno pakiranje in čiščenje mikro-izboklin
Po nastanku TSV ali mikro-izboklin, fluks in lasersko-svrtalno oglje, ki ostane v 5 µm slepih odprtinah, povzročita pod-praznino polnila in napake v Hi-potu. Azeotrop HFE (HFE + co-topilo + zaviralec korozije) prši pri 25 stopinjah 2 minuti, odstrani > 98 % ostankov, je 100 % združljiv s stebri EMC, PI in Cu ter je nadomestil NMP in aceton v volumskih linijah FC-BGA.
3. Tržna pokrajina in lokalizacija Kitajske
Globalno: Družina 3M Novec ima še vedno > 60 % delež, letna prodaja ≈ 5 kt, prihodki ≈ 1,6 milijarde USD; napovedi, da bo do leta 2025 dosegel 2,3 milijarde USD.
Domače: Haohua, Capchem, Beijing Yuji in Juhua so razbili sintezo in destilacijo visoke-čistosti (več kot ali enako 99,999 %), opravili kvalifikacije SMIC, YMTC in HiSilicon in zdaj ponujajo-nadomestke za 3M.
Outlook: s širitvijo arhitektur 3D NAND, GAA-FET in Chiplet povpraševanje po nizko-površinsko-napetosti in visoko{4}}selektivnih čistilnikih raste za > 20 % na leto; HFE, zrel nadomestek za ODS, bo še naprej imel koristi.
HFE hidrofluoroeter ni zgolj "zeleni slogan". Njegova prilagodljiva molekularna struktura je najboljša med čistilno močjo, združljivostjo materialov in okoljskim odtisom. Fabrikam omogoča, da sledijo Moorovemu zakonu, ne da bi pri tem obremenili ozonski plašč ali ogljični proračun, OSAT-jem pa daje univerzalen recept za "pranje-in-sušenje, brez-ostankov" za vse, od majhnih izboklin do masivnih plošč. Z -kitajskim-HFE visoke čistosti, ki se zdaj povečuje, se je zelena revolucija v natančnem čiščenju šele začela.
Za podjetja, ki iščejo HFE hidrofluoroeter, naše podjetje zagotavlja konkurenčne cene, zanesljivo dobavo in tehnično podporo. Za več podrobnosti nas kontaktirajte še danes!
